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单晶车间事故应急预案

2013-01-15   热度:   收藏   发表评论 0

    停电事故

  一.供电公司计划停电(检修设施,计划供电等)

  针对以上情况,需要注意以下几个方面: 1、供电公司必须提前二天通知公司配电负责人, 确定停电,送电的时间及停电的线路等;公司配电 负责人通过行政办向相关部门发文通知; 2、单晶车间根据单晶炉的每炉拉晶时间,决定 各炉的停炉时间,在停电之前5小时必须停炉冷却, 防止停电时炉体过热。 3、停电时,相关部门安排人员仔细检查电器, 供水系统是否正常,单晶车间对单晶炉进行维修保 养。

  二.突发性停电

  在正常生产过程中出现突然断电,当班组长首先保持冷静, 做出正确指挥 1.班组长工作内容: 发生断电后立即前往一楼开启备用电源(指定熟悉备用电源 的员工),在备用电源也无电时,立即启动柴油发电机,启 动后观察发电机电压380V稳定后,合上送电开关。保证冷 却水的正常供应。 送水后指导辅助工协同操作工注意各炉台水压变化,水压在 2.5-3.0,如有异常及时上报班长及相关部门。 在一楼送电的同时,组织现场抢救工作,各炉台操作工处理 好自己的炉台,检查是否处理得当。 等待来电的同时安排好岗位工作,操作看好炉内变化记录结 晶时间。

  停电时采取的措施:

  若炉子工作时,加热部分停电:

  1、在控制面板上点击工序重置【此时 UPS自动供电给 籽晶马达,坩埚马达。在自动状态下(在引晶之后):180S之 后,籽晶自动上升100mm,坩埚自动下降50mm。但是在 180S之内退出自动或在手动状态下则不会有以上动作。】 使其转换为手动状态,关闭所有转动开关,降低埚位50mm左 右,,使晶体脱离液面.加热电源转换为功率控制,然后将功率 调整至零。 2、如果断电时间较短,液面未结晶或已结晶且小于4分 钟则重启加热电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面 如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理,如果大 于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引晶等工作。

  控制电源断电的处理方法:

  1、控制电源断电; 在控制面板上点击工序重置,使其转换为手动状态, 降埚位50mm左右,使晶体脱离液面. 2、如果控制电源无法恢复供电, 当不能及时恢复通电时,则必须关闭 加热器,关闭S/L、S/R 、C/L、C/R,提升晶棒脱离液面,升高坩埚 位置(液面结晶后半小时顶起热屏),充氩气至常压自然冷却。 3、控制电源恢复供电, 液面未结晶或已结晶且小于4分钟则重启加热 电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面,打开S/L、S/R 、C/L、 C/R,在打开S/R晶转 和C/R埚转之前确保S/R 和C/R电位器处于零位。 如果我们等径长度大于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引 晶等工作, 如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理

  三.来电后班组长现场指挥工作:

  a.电源恢复时,立即开真空泵,待半分钟后开抽空阀门,将氩气流量恢 复正常。 b.若时间较短(液面未结晶或液面已结晶但小于10 分钟且石英坩埚 未破),按加热 功率开,将功率升至熔料功率。 c.若时间较短(液面未结晶或液面已结晶但小于10 分钟且石英坩埚 未破),按加热 功率开,将功率升至熔料功率。 d.熔化结晶面,在此期间应密切注意硅料液面熔化情况,一旦发生硅 液面下降,立即停炉并上报管理人员。 e.晶体处理同晶变单晶一致,待结晶全熔后,手动调节功率为引晶功 率,温度稳定后,开始引晶作业。 f.若停电时间较长(液面结晶已经大于10 分钟或石英坩埚破裂),快 速提升晶体或 籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。 g.在熔体结晶40分钟时,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒 100mm(埚内原料不足30kg不必顶起)。停炉,充分冷却后拆炉。

  重点提示:如若显示电脑控制面板和加

  热部分电源一起出现断电,操作员工应 该头脑冷静,必须在2分钟内关闭炉台 下部氩气球阀,防止炉台副室门自动冲 开,引起重大事故。

  漏硅的应急处理:

  1.立即关闭功率。 2.退出控制柜面板上单晶生长控制器,使其处于手动状态。 3.关闭埚转。 4.快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。 5.在熔体结晶40分钟时,如有可能,快速提升坩埚,使坩 埚顶起导流筒100mm。 6. 关闭真空泵抽气蝶阀,防止硅液进入管道,开启副室球 阀进行抽空,等液面结晶后再开启主室蝶阀,关闭副室蝶阀。 7. 检查各处电线是否紧靠着受热抽空管道,防止引起电线明 火。 8.停炉,充分冷却后拆炉。

  重点提示:做好前几步后,氩气充到常压

  的一半左右,使其自然冷却,处理完成后去 炉台下观察坩埚轴波纹管是否破裂漏硅,真 空管道、波纹管边上是否有电线紧挨住,有 无起火等安全隐患,其它地方也要仔细观察, 如有异常及时做出处理。

  停水事故(供水设备故障,水泵控制电路 故障,管路故障,水池缺水,停电)

  发生停水时采取的措施: 发生停水时,立即打开停水炉子的事故水进水阀(一般为消 防水,)。 1.当炉台水压不够或完全停止的时候,炉台会做出自我保护 措施停止加热从而出现DC电源打火报警. 2.如果水压不能及时恢复,在等径的炉台立即将晶棒与液面脱 离,防止结晶.关闭晶转锅转. 3.加大氩气流量,蝶阀全部打开,加速冷却. 4.如果结晶时间超过15分钟原料较多的炉台将导流筒顶起, 石英坩埚不可顶到大盖,防止硅料膨胀后把大盖涨坏. 做好上续措施后水压还未恢复的时候要仔细观察炉台。 停 水后水压恢复:

  1.冷却水恢复供应时,关闭事故水阀门,监控水压,有异常立即报 告管理人员。 2.水压恢复时,炉内无氧化现象,熔体未结晶或已结晶但液面结晶 小于4分钟且石英坩埚未破裂,按加热功率开,调节功率到熔料功率。 3.启动埚转,设定为1转/分,打开埚转前,确保埚转电位器处于零 位。 4 .熔化结晶面,在此期间应密切炉内有无氧化现象,注意硅料液面 熔化情况,一旦发生氧化现象、硅液面下降,立即停炉并上报管理人员。 5.晶体处理同晶变单晶一致,待结晶全熔后,手动调节功率为引晶 功率,温度稳定后,开始引晶。 停水后水压无法恢复,或恢复时熔体已结晶大于4分钟。 1.快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。 2.在熔体结晶40分钟时,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒100mm。 3.停炉,充分冷却后拆炉。

  一.把停水的原因查清进行处理,同时向相关领导(直属上 级)和相关部门(设备部,安全办)进行报告; 二.在事故发生时,安全员,外围设备操作工,单晶班长和 单晶员工各司其责,有条不紊的进行处理,不要造成不必要 的混乱; 三.一般停水事故会发生在以下几个方面:一,水泵故障停 水(启动备用水泵);二,水池缺水(关闭进水阀门,向进 水管道中补充应急水;另一方面,向水池补充ao水,恢复正 常生产);三,管道系统中出现泄漏;尽量堵漏等停炉后进 行维修; 四.事故解决后,要认真检查水,电,气等的各类参数,确 定没有问题,开始正常生产;

  石墨坩埚裂开时采取措施:

  1.石墨坩埚裂开可观察电压电流表状态,是否有抖动现象。 2.有抖动现象说明与加热器相擦,应立即关闭功率。 3.退出控制柜面板上单晶生长自动控制器,使其处于手动 状态。 4.关闭埚转。 5.快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。 6.在熔体结晶40分钟,如有可能,快速提升坩埚,使坩埚 顶起导流筒100mm。 7.停炉,充分冷却后拆炉。

  炉内漏水或观察窗玻璃裂开:

  1.当炉内出现大量漏水或观察窗玻璃裂开时,则立即关闭 功率。 2.关闭所漏部位的水源,关闭阀门及真空泵,对炉内进行 充氩气至50KPa左右,关闭氩气。若观察窗玻璃裂开时确认 炉内未出现大量漏水可不关闭阀门及真空泵蝶阀但要随时观 察炉内情况,以采取应急措施。 3.退出自动控制柜面板上单晶生长控制器,使其处于手动 状态。 4.关闭埚转。 5.快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。 6.在熔体结晶40分钟时,如有可能,快速提升坩埚,使坩 埚顶起导流筒100mm。 7.停炉,充分冷却后拆炉

  电器短路起火(用电负荷过大,接线松脱,电 器内灰尘,杂物过多) ? 1.当电器起火时,首先关闭控制电器的电源 总开关, ? 2.如有明火时,用干粉灭火器扑灭, ? 3.按照实际情况进行修理或更换; ? 4.故障排除后,经检查无误再恢复生产;

  工伤事故(一般车间工伤事故,酸洗车间工伤事故)

  a. 1.一般车间发生工伤事故后,由当班管理人员向安全员汇报,同时向直 属上级领导进行汇报, 2.在等待安全员到达的同时,进行必要的施救; 3.如遇情况危急,可在安全员未到现场情况下,送患者去医院抢救; 4.安全员到达现场处理时,所有人员必须听从安全员的指挥; 5.在安全员了解事故情况时,相关人员必须如实回答,不得欺骗,隐瞒; 6.在事故没有完全结束时,安全员要随时关注事情的进展,并对相关人 员进行反馈; 7.当事故结束后,安全员应召集相关人员开安全事故鉴定会,对相关事 宜进行处理;

  b.1.当酸洗车间发生化学品以身体接触造成事故,首先,立即 用大量清水冲洗患处 10-20分钟,用毛巾擦干水渍,在患处涂上药膏; 2.事故发生时,由当班管理人员向安全员汇报,同时向直属 上级领导进行汇报; 3. 在等待安全员到达的同时,进行必要的施救; 4. .如遇情况危急,可在安全员未到现场情况下,送患者去医 院抢救; .5. 安全员到达现场处理时,所有人员必须听从安全员的指挥; 6..在安全员了解事故情况时,相关人员必须如实回答,不得 欺骗,隐瞒; 7. 在事故没有完全结束时,安全员要随时关注事情的进展, 并对相关人员进行反馈 8. .当事故结束后,安全员应召集相关人员开安全事故鉴定会, 对相关事宜进行处理;

  后语

  其实在单晶车间出现事故并不可怕,可怕的 是班组长不懂得如何对事故进行应急,以减 少事故本身带来的损失。因此对车间班组长事故应急指挥,车间操作 员工的安全应急预案培训必须严格落实,每 周必须培训,每月进行现场应急操作考核。