电子工业用气体 硅烷SiH4GB/T 15909-2009
[预览]2009-10-30发布 2010-05-01实施
[pdf格式]
1.范围
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、非晶硅薄膜淀积等。
分子式：SiH4。
2009-10-30发布 2010-05-01实施
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1.范围
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、非晶硅薄膜淀积等。
分子式：SiH4。