微电子生产设备安装工程施工及验收规范GB 50467-2008

2013-06-20 收藏发表评论 0

【发布单位】住房和城乡建设部国家质量监督检验检疫总局
【发布日期】2008-12-15
【实施日期】2009-07-01
【标准状态】现行
【文件大小】未知
【下载地址】

1 总则
1.0.1 为规范微电子生产设备安装工程施工，确保微电子生产设备安装质量和可靠运行，促进微电子生产设备安装技术的发展，制定本规范。
1.0.2 本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试及生产。