对欲回收利用的六氟化硫气体，需进行净化处理，达到新气标准后方可使用。对排放废气，事前需作净化处理（如采用碱吸收的方法），达到国家环保规定标准后，方可排放。
设备解体前，应对设备六氟化硫气体进行必要的分析测定，根据有毒气体含量，采取相应的安全防护措施。设备解体工作方案，应包括安全防护措施。
设备解体前，用回收净化装置净化六氟化硫运行气，并对设备抽真空，用氮气冲洗3次后，方可进行设备解体检修。
解体时，检修人员应穿戴防护服及防毒面具。设备封盖打开后，应暂时撤离现场30min。
在取出吸附剂，清洗金属和绝缘零部件时，检修人员应穿戴全套的安全防护用品，并用吸尘器和毛刷清除粉末。
将清出的吸附剂、金属粉末等废物放入酸或碱溶液中处理至中性后，进行深埋处理，深度应大于0.8m，地点选在野外边远地区、下水处。
六氟化硫电气设备解体检修净化车间要密闭、低尘降，并保证有良好的地沟机力引风排气设施，其换气量应保证在15min内全车间换气一次。排出气口设在底部。
工作结束后使用过的防护用具应清洗干净，检修人员要洗澡。
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