[一]氟甲烷平衡贮罐
1．使用氯气瓶应防止曝晒，防止靠近热源。减压阀应定期校验，氯气瓶应在定检周期内使用。瓶体不应装设易熔塞及泄压装置。
2．当罐上氯甲烷表压降压至0．1兆帕以下时，方可通知氯甲烷工段给料，每次给氯甲烷(液相)不得超过300千克。
3．氯甲烷平衡罐内压力不准超过0.4兆帕，并需有专人看管。
4．罐夹套内通入蒸气时，罐内压力不准超过0．4兆帕。
5．停止加热时，必须将总蒸气阀门关闭。
6．平衡罐至少半年应清理—次，并按规定进行定期检查。
[二]氮甲烷干燥罐
1．每四个周期定期取样测定硫酸罐内酸的浓度，当酸的浓度降至98％以下时应更换。
2．更换磷酸时要戴好防酸用品，并按操作规定进行操作。
3．各阀门应严密，开启时准确无误，防止负压产生，逆止阀要灵活可靠。
[三]甲基合成炉
1．开炉前要检查设备各部位是否符合安全要求。
2．开炉时应及时开肩冷却水和大气阀门，停炉时，应及时关闭，炉内压力不准超过0．02兆帕。
3．还原反应时应注意合成炉的温度和压力变化，出现异常及时排除。
[四]过滤器
1．必须保持过滤器畅通。
2．压力不超过0.02兆帕。
3．每一生产周期后必须检修设备。
[五]粗单晶体贮罐
1．检查贮罐阀门、液面计阀门、大气阀门是否符合安全要求。
2．压料时应关闭大气阀门、液面计阀门，开启出料管阀门，并及时分馏接收。
3．压料时通二氧化碳的压力不准超过0．2兆帕，压料必须由2人同时操作。
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