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无尘室黄光区操作须知

2012-10-22   来源:安全文化网    热度:   收藏   发表评论 0

 

  1. 湿度及温度会影响对准工作,在黄光区应注意温度及湿度,并应减少对准机附近的人,以减少湿、温度的变化。

  2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得携出黄光区以免感光。

  3. 己上妥光阻,而在等待对准曝光之芯片,应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内, 盒盖必须盖妥。

  4. 光罩使用时应持取边缘,不得触及光罩面,任何状况之下,光罩铬膜不得与他物接触,以防刮伤,光罩之落尘可以氮气枪吹之。

  5. 曝光时,应避免用眼睛直视曝光机汞灯。

  四、镊子使用须知

  1. 进入实验室后,应先戴上手套后,再取镊子,以免沾污。

  2. 唯有使用干净的镊子,才可持取芯片,镊子一旦掉在地上或被手触碰,或因其它原因而遭污染,必须拿去清洗,方可再使用。

  3. 镊子使用后,应放于各站规定处,不可任意放置,如有特殊制程用镊子,使用后应自行保管,不可和实验室内各站之镊子混合使用。

  4. 持镊子应采”握笔式”姿势挟取芯片。

  5. 挟取芯片时,顺序应由后向前挟取,放回芯片时,则由前向后放回,以免刮伤芯片表面。

  6. 挟取芯片时,”短边” (锯状头)置于芯片正面,”长边” (平头)置于芯片背面,挟芯片空白部分,不可伤及芯片。

  7. 严禁将镊子接触酸槽或D.I Water水槽中。

  8. 镊子仅可做为挟取芯片用,不准做其它用途。