无尘室黄光区操作须知

　　1. 湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。

　　2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。

　　3. 己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内， 盒盖必须盖妥。

　　4. 光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气枪吹之。

　　5. 曝光时，应避免用眼睛直视曝光机汞灯。

　　四、镊子使用须知

　　1. 进入实验室后，应先戴上手套后，再取镊子，以免沾污。

　　2. 唯有使用干净的镊子，才可持取芯片，镊子一旦掉在地上或被手触碰，或因其它原因而遭污染，必须拿去清洗，方可再使用。

　　3. 镊子使用后，应放于各站规定处，不可任意放置，如有特殊制程用镊子，使用后应自行保管，不可和实验室内各站之镊子混合使用。

　　4. 持镊子应采”握笔式”姿势挟取芯片。

　　5. 挟取芯片时，顺序应由后向前挟取，放回芯片时，则由前向后放回，以免刮伤芯片表面。

　　6. 挟取芯片时，”短边” (锯状头)置于芯片正面，”长边” (平头)置于芯片背面，挟芯片空白部分，不可伤及芯片。

　　7. 严禁将镊子接触酸槽或D.I Water水槽中。

　　8. 镊子仅可做为挟取芯片用，不准做其它用途。